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射頻探針臺,12英寸全自動射頻探針臺設(shè)計(jì)有五個單獨(dú)的托盤，可按人體工學(xué)方式手動裝載150、200或300毫米的“模型”晶圓。
全自動| FAB廠生產(chǎn)線常用探針臺采用新開發(fā)的專有XY驅(qū)動系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了高速，低振動。
全自動探針臺,FAB廠生產(chǎn)線常用探針臺采用新開發(fā)的專有XY驅(qū)動系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了高速，低振動。$n與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，考慮到環(huán)境因設(shè)計(jì)變化而實(shí)現(xiàn)的占地面積小，功耗降低10％
高功率探針臺,半自動探針臺用于在寬 -60°C 至 +300°C 的溫度范圍和寬 3 kV （三軸） / 10 kV （同軸） 和 600 A 測量范圍的晶圓#HighPower 對高功率芯片特性進(jìn)行測試。系統(tǒng)可以選擇在薄晶片或TAIKO晶圓上進(jìn)行測試。半自動高功率探針臺|