探針臺(tái)溫控是一款溫度范圍-190℃-600℃的溫控探針臺(tái)，通過(guò)杠桿式支架，使用的是彎針探針。使用時(shí)還可對(duì)樣品氣氛進(jìn)行控制。這樣既可以保證，即使在極低溫度下，腔體也不產(chǎn)生結(jié)霜影響實(shí)驗(yàn)，又可以防止樣品發(fā)生氧化。相比傳統(tǒng)的直針探針，這種設(shè)計(jì)不僅點(diǎn)針更準(zhǔn)確，而且點(diǎn)針力度更大，和樣品的電接觸性更好。
功能特點(diǎn)：
1、可編程精密控溫。可獨(dú)立控制，也可從上位機(jī)軟件控制；
2、探針需開(kāi)蓋移動(dòng)，樣品臺(tái)面電接地；
3、探針，分別導(dǎo)通冷熱臺(tái)外殼上的4個(gè)BNC接口；
4、杠桿式探針支架，點(diǎn)針力度更大，電接觸性更好；
5、彎針探針，點(diǎn)針更準(zhǔn)；
6、默認(rèn)氣密腔室，通問(wèn)2個(gè)快速自鎖接頭，可充保護(hù)氣體；
7、上蓋帶有樣品觀察窗；
8、臺(tái)體內(nèi)置干燥氣體管道，用于負(fù)溫時(shí)對(duì)視窗的除霜；
9、視窗可拆卸與更換，可用不同材質(zhì)窗片實(shí)現(xiàn)不同波段光觀察；
10、軟件可拓展性強(qiáng)，可提供LabView等語(yǔ)言的SDK。
探針臺(tái)溫控可單獨(dú)使用，也可搭配顯微鏡/光譜儀使用。其可在-190℃~600℃范圍內(nèi)控溫，同時(shí)允許探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)氣密腔，可往內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來(lái)防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。
設(shè)備應(yīng)用：
晶圓、芯片、LED測(cè)試、場(chǎng)晶體管、IGBT、分立器件等測(cè)試類型：IV/CV測(cè)試、RF測(cè)試、光電測(cè)試等搭配儀器。外置探針臂操作更穩(wěn)定、精準(zhǔn)，可兼容不同類型顯微鏡滿足不同觀察要求、可滿足光譜測(cè)試、液氮開(kāi)循環(huán)制冷，降低研發(fā)成本，模塊化設(shè)計(jì)、后期可無(wú)縫升級(jí)配置。
